激光调阻机在传感器行业中的应用
一些电路中由于器件离散性、不一致等因素,导致其电路的输出参数差异性也较大,特别是传感器行业。
目前国外在霍尔电流传感器领域普遍采用激光调阻工艺进行调整,此方法调整结果精度高,速度快,自动化程度高,稳定可靠。
激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。