激光调阻机在薄膜铂电阻上的应用
铂电阻,也称为铂热电阻,它的阻值会随着温度的变化而改变。它有PT100和
PT1000等等系列产品,适用于医疗、电机、工业、温度计算、卫星、气象、阻值计算等高精温度设备,应用范围非常之广泛。
薄膜铂电阻:用真空沉积的薄膜技术把铂溅射在陶瓷基片上,膜厚在2微米以内,用玻璃烧结料把Ni(或Pd)引线固定,经激光调阻制成薄膜元件。
激光调阻机的工作原理是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到加工工件上,使工件待调部分的膜层气化切除,实现阻值微调。
激光切割改变电阻体的截面积和导电长度,可把低于目标阻值的电阻体修调到要求的精度范围内。