三工精密提供激光调阻专业技术解决方案
三工精密,可提供全套线性调阻技术解决方案,拥有全套软硬件知识产权,且该调阻机光束质量好,调阻精度高,重复精度好,设备稳定可靠,可长时间连续工作,适合工业加工需求,非接触式加工,对基板不易损伤,对周围污染和热影响小,微调后阻值稳定,漂移小,根据实际需要,整个调阻标刻过程可以自动或手动完成。
激光调阻机主要的四大系统:
激光系统——激光功率10W,可自动对焦,采用风冷冷却方式,激光波长达1064nm。
激光定位系统——激光束运动范围在60mm*60mm,重复定位精度±2.5μm,运动分辨率0.76μm。
分步重复运动系统——运动方式采用空气悬浮,无摩擦力,范围在290mm*260mm,重复定位精度在±1μm。
测量系统——电阻测量精度中阻± 0.02%,电阻测量范围在0.1Ω-100MΩ,测量速度相当快达25μs/次,可自动校正零点及满程误差。