激光修阻机在混合集成电路上的微调工艺
激光微调技术是制造高性能混合电路的重要手段,利用激光调阻机不仅能对厚膜基片进行调阻,还能对组装后的混合集成电路进行微调,保证电路的功能。国内外不少混合电路厂家都已经在利用激光调阻机进行加工生产,以保证产品精度,降低生产成本,提升产品竞争力。
激光微调原理是首先测量待调电阻阻值,数值若在可调范围内,则将激光打开按指定路径进行调阻。激光器打开后发出脉冲激光束聚焦很小的光斑,对厚膜电阻的有效区域进行切割,使之熔融、蒸发,通过改变厚膜电阻导体的有效导电面积或有效长度调整厚膜电阻阻值,阻值只能调大不能调小。