激光调阻机在薄膜电阻上微调的技术特点
随着微电子工业发展,对厚、薄膜电路的需要量越来越大,对精度的要求也越来越高。激光微调技术已在很多国家得到应用。
利用激光对薄膜电阻进行微调具有以下特点：
1、激光微调属于非接触式加工，激光束能量密度高，加工速度快，对基板损伤小，且激光光束照射的电阻表面是局部的，属于局部加工，对周围污染和热量影响小，微调后阻值稳定，漂移小。
2、激光束可以聚焦成非常细的光斑，而且可以边测量边加工，加工精度高，重复精度好。
3、光束的能量和光束的扫描速度都是可以调节的，故激光微调可以实现对不同的电阻材料和不同的微调形状的加工。
4、激光微调具有速度快，易于实现整个加工过程自动化。调阻过程可以完全由计算机控制自动完成，因而具有高速、高精度等一系列优点。
5、生产效率高，加工质量稳定可靠，经济效益和社会效益好。