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激光修调机的系统组成部分
 
先进的激光修调系统主要包括以下几个部分:
(1)激光器部分
   采用波长1064nm的激光器,激光器稳定,使用寿命长。
(2)光束定位系统
   分为线性马达式,开环和闭环检流计式等。控制光束在x和y方向的位置,速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间,工作效率高。
(3)程控衰减系统
   由多个衰减器组成,以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。
(4)修调设定器
   它直接与激光器,光束定位器,分布重复台及测量系统相连接。他可以通过程序改变Q频率,刻蚀尺寸和改变切割的修调方向,决定阻值变化,而不影响精度。另外,还具有自动校正功能,在长期工作时可使修调设定值保持稳定。
(5)阻值及电压测定装置
   采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络,阻值测量精度可达±0.05μm,测量时间短。这种设计可以防止外界干扰,且由于采用差动测量,自动消除偏离及极性转换,还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
(6)自动功率测量系统
   激光器功率测量是利用最低限度中的中断通过测量来测定的。用微机控制螺形管驱动系统,激光束通过衰减器内的100%反射镜,射像热电偶器件,然后送到1个多量程功率计。
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