激光调阻工艺在微电子行业的发展
随着微电子行业的迅猛发展，激光修调已成为片式电阻和厚薄膜电路生产中不可缺少的一种工艺手段。由于基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性，电阻值必然出现误差。一般激光修调电阻精度可达±0.01%～0.1%甚至更高，并可实现产品输出电压、电流的参数的自动调整。具有调整精度高，重复性好，速度快，使用成本低等优点。
激光修调原理是把激光器输出的连续激光，经过调制后变为脉冲激光输出，再通过光学聚焦形成更小的光斑，并达到适当的峰值功率和功率密度，在计算机控制下，准确定位在工件指定部位上，对工件待调膜层进行切割或气化。
先进的激光修调系统，应具有多种修调功能，不仅可修调厚薄膜电路和混合集成电路，还可修调高精度要求的各类传感条件，以及A/D，D/A转换器和一些V/F转换器。