使用激光调阻机调阻后为何会产生漂移的现象
激光微调电阻阻值是片式电阻生产工艺过程中的关键工序之一,高能量密度的激光束加热除了去除部分电阻体外,也引起切口周围电阻体组织的一些变化,从而导致电阻器调整后阻值产生漂移,生产中必须制定相应的激光加工工艺。分析阻值漂移的原因,归结起来如下:
1、激光调整除了使电阻层部分脱落外,还使薄膜切口周边区段受热。薄膜的加热——冷凝循环通常伴随着薄膜受热区的退火、氧化和熔化,还可能使薄膜和片基上形成裂纹。激光蒸发过程伴随着熔体溅射,其液滴可能落入切口。
2、薄膜阻值产生漂移的基本原因是切口周围存在受热区,该受热区的尺寸与激光辐射焦点的高斯分布特点有关。随着光斑尺寸、作用时间和光斑重叠率的减小,阻值的稳定性增加。依稳定性要求确定的切口理想几何形状为:L型切口。
3、在厚膜电阻器中,切口周边形成的裂纹可能成为影响阻值稳定性差的又一个重要原因。这些裂纹位于电阻器的受热区内,裂纹的形成与调阻过程终止瞬间等离子体消失在薄膜内引起的猝法吸收有关,在切口末端难以消除。为减小这些裂纹的影响,采用J型切口是比较适宜的,其末端的裂纹处于电阻器不工作的部位。除裂纹外,电阻层在调阻过程中的组成成分变化也影响到阻值的漂移。
4、影响调阻结果的另一个因素是切口光洁度,它决定了通过电阻器的漏电电流。厚膜电阻器的漏泄电阻与YAG激光器的脉冲重复频率和声频调制及抽运功率有关。激光的脉冲功率降低,蒸发产物中的液相部分将增加,切口光洁度下降。优化激光加工工艺参数,减少熔体份量并消除熔体的溅射,可降低电阻器的漏泄电流。
三工精密
激光调阻机调阻完成后所产生的漂移现象并不会太明显,而且激光调阻精度,速度等一系列效果都是很棒的,对比国外的设备价格方面也是占据了绝大部分的优势!