厚膜电阻使用激光调阻机进行调阻原因
在混合集成电路的生产过程中,激光调阻是很重要的一个环节。特别是厚膜电阻,往往烧成后的实际阻值与电阻标称值的误差很大。需要进行调阻也就是微调。
三工精密的
激光调阻机调阻过程是高能量的聚焦激光束照射到电阻膜上,使电阻体局部区域温度瞬间升高,通过对电阻体气化蒸发实现厚膜电阻的切割,改变厚膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值,当厚膜电阻的阻值不断接近目标阻值之后,调阻的过程关闭,即实现调阻的过程。
激光调节厚膜电阻,要根据所调电阻的面积、电阻线条宽度,电阻方数的不同选择不同的激光切割形式,使电阻值调到最佳精度,同时兼顾激光微调对电阻稳定性和温度系数的影响,以便得到高性能,高精度的厚膜电阻。