解析激光调阻机调阻过程
激光调阻机是利用激光工艺对薄膜或厚膜电阻进行精密修整的关键设备,是集光学,精密机械,计算机控制,和精密测量等技术于一体的高技术微电子设备。其工作原理是把激光器发出的脉冲激光束聚焦成很小的光点,达到适当的能量密度,对薄膜电阻跟厚膜电阻的导电体进行切割,使之膜层熔融,蒸发,以改变薄膜电阻跟厚膜电阻导电体的有效导电面积或有效长度,达到调整薄膜电阻单元阻值的目的。由于切割中没有化学过程并能在大气中加工,所以可以实现测量的结果,并实现激光加工过程的自动化。该设备具有精度高,效率高和工艺简便的特点。
激光调阻时首先对电阻的刻蚀图形预先利用AutoCAD设计好,并输入到计算机。计算机根据预制图形产生激光束的强度与位置使激光按照一定的轨迹和路径切割电阻,直到阻值达到预定值。它实现了激光加工过程的自动化,并具有高精度、高效率的特点。