激光调阻中切槽质量与影响因素的关联定位分析
激光调阻机是现代微电子行业中的片阻生产设备,随着科技的高速发展,片阻以其体积小、成本低、精度高、性能好等优点,在很多领域已经替代了旧式的圆柱形电阻。而且体积更小的片阻又在逐渐替代体积较大的片阻,这就要求激光调阻机的性能也在不断地改进和提高。
在激光调阻中，切槽质量的评价主要包括清晰度、光滑度、平直度、垂直度和一致性等方面的内容，它们直接决定了生产片阻的品质与等级。为了得到优质切槽，掌握切槽质量与影响因素之间的关系，文章从两个角度进行分析。一是在复杂的光、机、电和计算机一体化的设备中，分析影响切槽质量的几个主要因素；二是重点分析并确定切槽质量与相关因素的对应关系。根据这些分析就可以在切槽质量发生不良时定性地得到原因并采取正确措施，无论是对调阻技术的改进还是在片阻生产中都具有重要的指导意义。