影响激光调阻精度的工艺参数分析
影响激光调阻精度的工艺参数主要包括激光功率(平均功率、峰值功率、激光功率密度)、激光调Q频率、光斑重叠率(等价扫描步长,影响调阻速度)和扫描速度。
调阻是被调片阻因激光能量受热气化而实现的，相反激光功率也不能过高,因为激光能量越高会在三个方面产生负作用:
第一,激光功率越高,被调片阻的气化面积就越大,这样片阻的阻值变化率就越大,调阻精度就越低;
第二,激光功率过高,没有办法使其产生同等程度的偏差,所以调阻精度也会下降。其次,调Q频率对激光调阻精度的影响。激光调Q频率对调阻精度的影响是通过激光峰值功率表现出来的,调Q频率加大会增加激光平均功率,同时也会降低峰值功率,进而影响调阻精度。
第三,光斑重叠率对激光调阻的影响。激光调阻中的光斑直径约为30微米,光斑重叠率指相邻两个光斑的重叠百分比。光斑重叠率在三个方面影响激光调阻精度。一,光斑重叠率的大小影响聚焦在被调片阻的激光功率的高低;二,光斑重叠率的大小影响激光切割槽的光滑度;三,光斑重叠率还影响阻值变化率。
第四,扫描速度对调阻精度的影响。扫描速度在激光调阻中主要指扫描振镜的转速,它分为X方向振镜转速和Y方向振镜转速。扫描速度的选择归根结底取决于X方向振镜和Y方向振镜的小角度响应时间。扫描速度与X、Y振镜的小角度响应时间的不同组合会产生不同的切割槽形状,而切割槽形状直接影响调阻精度的高低。
调阻是被调片阻因激光能量受热气化而实现的,所以激光功率不能过低,如果激光能量不足,则无法使被调电阻浆料气化;相反激光功率也不能过高,因为激光能量越高会在三个方面产生负作用:第一,激光功率越高,被调片阻的气化面积就越大,这样片阻的阻值变化率就越大,调阻精度就越低;第二,激光功率过高,痕,,高,,并且没有办法使其产生同等程度的偏差,所以调阻精度也会下降。 其次,调Q频率对激光调阻精度的影响。激光调Q频率对调阻精度的影响是通过激光峰值功率表现出来的,调Q频率加大会增加激光平均功率,同时也会降低峰值功率,进而影响调阻精度。 第
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析_文库下载http://www.wenkuxiazai.com/doc/04d9d342964bcf84b9d57beb-2.html
三,光斑重叠率对激光调阻的影响。激光调阻中的光斑直径约为30微米,光斑重叠率指相邻两个光斑的重叠百分比。光斑重叠率在三个方面影响激光调阻精度。一,光斑重叠率的大小影响聚焦在被调片阻的激光功率的高低;二,光斑重叠率的大小影响激光切割槽的光滑度;三,光斑重叠率还影响阻值变化率。 第四,扫描速度[2]对调阻精度的影响。扫描速度在激光调阻中主要指扫描振镜[3]的转速,它分为X方向振镜转速和Y方向振镜转速。扫描速度的选择归根结底取决于X方向振镜和Y方向振镜的小角度响应时间。扫描速度与X、Y振镜的小角度响应时间的不同组合会产生不同的切割槽形状,而切割槽形状直接影响调阻精度的高低。
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析_文库下载http://www.wenkuxiazai.com/doc/04d9d342964bcf84b9d57beb-2.html