激光刻蚀路径对电阻阻值的影响
激光调阻是当今最精密的电阻阻值修调方法,其基本原理是将适当功率密度的激光束聚焦在电阻膜上,电阻材料因受高温,在瞬间即被气化,随着激光束的刻蚀,电阻膜被切割,电阻体的有效导电截面积减小,阻值上升。激光在电阻膜上的扫描路径称为刻蚀路径,激光调阻精度与刻蚀路径有关。
由于受激光束控制难易的影响,激光刻蚀路径一般为直线或直线的组合,激光刻蚀路径属垂直于电流方向的横向刻蚀,它包含两方面的信息,横向起刻位置和横向刻蚀长度。若能准确掌握激光横向刻蚀长度及横向起刻位置对阻值影响的定性、定量规律,并依据其对激光横向刻蚀路径进行优化设计,则可以较低成本提高调阻精度和调阻效率。武汉三工精密生产的激光调阻机能精确的改变电阻阻值,误差较小,速度快,适合大批量调阻需要!