三工精密激光微调技术在厚薄膜电路上的应用
随着微电子工业发展,对厚,薄膜电路的需要也越来越大,对精度的要求也越来越高。
激光微调技术已在很多国家得到应用。激光用于调整厚、薄膜电路及硅上薄膜电路中的电阻特别有效;如高精度单片集成的数模转换器用激光微调容易实现,还可调整电路中的某些元件参数,使电路达到总技术指标。微调技术即对电阻的阻值的微调。
现代微电子设备中常用两种膜电路:
(1)薄膜电路
用钮或镍铬合金或铬硅材料通过真空蒸发在微品玻璃或硅片上,制成厚数百埃到数微米的薄膜,构成电阻网路,其体积小,精度高,与有源器件配合可做成各种小型电子器件;
(2)厚膜电路
用把、钉、氧化佗等电阻浆料印刷在陶瓷基片上,制成数十微米到数百微米厚的厚脱电阻网路,其体积较分立元件大大缩小,且有一定功率容氮,结构可靠稳定,广泛用于各种电子设备中。
与传统的机械磨蚀法(对厚膜)和电火花烧蚀法(对薄膜)相比,用激光对厚、薄膜电阻作微调的优点有:
1.精度高,能在动态下进行
即微调过程中可随时测量被调电阻的瞬时阻值,一旦达到所需值,加工过程即可停止。
2.效率高
三工精密激光调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍，产能大大提升，单位成本下降。
3.使用成本低
采用了最先进的激光器，无耗材，使用成本最低，长期使用节约大量的费用。