三工精密为您介绍激光在厚薄膜电阻上微调优势
激光用于厚薄膜电阻的微调具有很多优点。首先是精度高，能在动态下进行。也就是说，在调整过程中可随时测量被调电阻的瞬时阻值，一旦达到所需值，加工过程即刻停止。如果激光器参数选得合适，微调就可达到与微量系统相应的精度。现代激光微调机微调精度的典型值是0.05%，也可实现0.02%或更小，其次，激光能量在无机械接触的情况下到达工件，因而适合于加工硬脆材料，且对工作区域环境污染小，可减小调后漂移，再次，激光通过反射镜偏转能够达到很高的偏转速度，所以微调速度快，效率高，最后，由于激光微调便于实现自动化，在经济性方面也优于一般方法。
用激光微调电阻，目前有两种方案。第一种是对电阻进行无损伤照射，使膜的结构变化，从而使阻值发生改变，第二种是强光照射，将一部分电阻膜气化去除，以减小导电膜的截面来增加阻值。这里主要讨论第二种方案。
利用激光微调电阻，是一种热加工方法。在很薄的表层是激光能量被吸收，并以热的形式向材料内部传输。能量输入的速率和可达到的极限深度睬与材料的热时间常数有关外，主要取决于激光束特性。当激光的功率密度较高而脉冲宽度较窄时，可以在对衬底影响很小的情况下把薄膜汽化后去除，如果光束在工件表面聚焦为一个很小的光斑，则可在电阻膜上烧出一个小孔，使激光束与工件以适当速度相对运动，一个个小孔连接成一条光滑的细线，从而减小了电阻膜的导电截面，使阻值增加，达到微调目的。由此可见，为了实现电阻膜的微调，并保证高的加工质量，对所用激光的功率，聚焦性能，脉宽，脉冲重复率、波长等都有相当严格的要求。