激光调阻机微调系统主要构成
先进的激光调阻机微调系统(激光调阻设备、激光调电阻设备)主要包括以下几个部分：
(1)激光调阻机激光器部分采用氪激励的高频Q开关、Nd:YAG激光器，厚膜修调最小光斑达38μm，脉冲重复频率为500Hz～50kHz。
(2)激光调阻机光束定位系统分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间，工作效率高。
(3)激光调阻机程控衰减系统由多个衰减器组成，以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。
(4)激光调阻机修调设定器它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，决定阻值变化，而不影响精度。另外，还具有自动校正功能，在长期工作时可使修调设定值保持稳定。
(5)激光调阻机阻值及电压测定装置采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络，阻值测量精度可达0.02%，测量时间仅为5ms。这种设计可以防止外界干扰，且由于采用差动测量，自动消除偏离及极性转换，还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
(6)自动功率测量系统激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统，激光束通过衰减器内的100%反射镜，射向热电偶器件，然后送到1个多量程功率计。
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